铂金回收价格,阴极弧沉积超薄铂膜界面结构的研究

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在埃范围内具有标称厚度的铂的超薄薄膜沉积在硅基板上,并使用射线反射率和射线光电子能谱进行研究。已经发现,沉积膜的结构由三层铂膜,氧化硅层和铂硅化物层组成。与磁控管和电子束沉积膜相反,阴极弧沉积膜的硅化物层具有更高的密度和更大的厚度,这归因于该沉积技术的较高能量过程。
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阴极弧形沉积膜的这些属性表明沉积技术不适用于生产彼此反应的材料的镜子,但对于不沉积技术的材料可能比电子束和磁控管更有利溅射。铂金回收价格
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